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 UV 400 & UVR 400 Pyrometers -深圳市草莓视频APP在线观看電源技術有限公司




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      產品資料

      UV 400 & UVR 400 Pyrometers

      如果您對該產品感興趣的話,可以
      產品名稱: UV 400 & UVR 400 Pyrometers
      產品型號:
      產品展商: Impac / Advanced Energy
      產品文檔: 無相關文檔

      簡單介紹

      用於基於GaN的MOCVD外延工藝的真正晶圓表麵溫度和反射儀，具有極短波長的數字火程計。溫度範圍為650至1300°C。


      UV 400 & UVR 400 Pyrometers  的詳細介紹
      UV 400 & UVR 400 Pyrometers描述
      UV 400和UVR 400係統專為基於GaN的MOCVD外延工藝設計，能夠直接測量晶圓表麵溫度，這比傳統的感應器/口袋溫度測量有了顯著提升，從而提高了良率。UVR 400更進一步，增加了一個635納米的反射儀，測量速度為0.5 kHz，便於測量沉積厚度。這些係統重新定義了LED生產工藝的標準，結果顯示了工藝溫度與終端產品波長之間的可靠相關性。


      UV 400 & UVR 400 Pyrometers特色

      • 可靠的晶圓溫度與PL波長相關
      • 裝置能承受氮氣大氣層和真空（<10毫巴）
      • 溫度範圍內可調節子範圍
      • 利用真實光集計數儀器較小化測量噪聲
      • 采用PhotriX和同心光管選項的完整反應器溫度控製解決方案

      UV 400 & UVR 400 Pyrometers

      • 通過準確的真實晶圓溫度測量提高良率
      • 使用紫外波長儀器直接測量氮化镓層的溫度
      • 獲得可靠的晶圓溫度與PL波長相關
      • 利用快速脈衝光源實時捕捉反射率測量
      • 防止近紅外發射率補償式耐熱儀中出現的殘渣溫度振蕩
      • 防止因延遲采樣導致的數據偏斜（無快門開關）


      Associated Part Numbers優點

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